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MKS質(zhì)量流量控制器

MKS質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品時間:2023-08-30

簡要描述:

Granville-Phillips®475 Convectron®真空計控制器與行業(yè)標準的275系列Convectron®真空計相結(jié)合,使用的熱導率變化提供高性能真空壓力測量。

Granville-Phillips®475 Convectron®真空計控制器與行業(yè)標準的275系列Convectron®真空計相結(jié)合,使用的熱導率變化提供高性能真空壓力測量。Convectron®真空計是對流增強型皮拉尼真空計,具有單獨校準的真空計、溫度補償和對流技術(shù),可在7個十年內(nèi)從1x10-4 Torr到大氣壓提高精度和可重復的真空測量。這些控制器設計用于275 Convectron®Pirani真空計。Granville-Phillips®Convectron®壓力計已成為世界標準的對流增強皮拉尼壓力計超過35年,并用于數(shù)千種真空工藝,以準確測量從大氣壓到10-4 Torr的壓力。

①從1x10-4 Torr到大氣壓的真空壓力測量。

②用于臺式或面板安裝應用的高性能緊湊型控制器。

③I/O選項包括模擬輸出、設定點繼電器和串行通信。

④N2、Ar、He、CO2和O2的預編程氣體曲線。

⑤用于簡化配置和參數(shù)設置的直觀菜單控制。

⑥符合RoHS和CE標準。

475系列Convectron控制器是符合RoHS標準的第三代Convectron真空計控制器,它結(jié)合了堅固的可靠性和易于使用和系統(tǒng)集成的關(guān)鍵特性。它包括多項功能,例如自診斷、集成Convectron真空計模擬和內(nèi)置氣體曲線,可針對各種真空環(huán)境進行調(diào)整。475系列易于使用,具有高度可見的真空熒光顯示器(VFD)和直觀的前面板控件,無需特殊工具即可校準真空計和調(diào)整真空測量參數(shù)。它可以用作基本真空系統(tǒng)控制的簡單讀數(shù)裝置,也可以集成到更復雜的控制系統(tǒng)中。475提供一系列控制I/O選項,包括模擬輸出、設定點繼電器和串行通信接口。

①寬測量范圍:真空系統(tǒng)壓力可以從1x10-4 Torr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)到大氣壓連續(xù)監(jiān)測。

②高測量分辨率:旨在充分利用Convectron Gauge技術(shù),在大氣壓下分辨率為1 Torr(1 mbar,0.1 Pa),在低壓下分辨率為0.1 mTorr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)。


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